??????????????? |
???????????????? ???? |
????????е?????????????? |
????????????÷??????????????????е????????????????????????е??????????????????????????????????????????????????е?????????????????? ???????????е??????????????????й?????????????????й?????????????,DVD,???壬???????????豸????????????????????2003??????й?????????????29%?????????????????24%????????16%??????50%???????????70%??????55%?????????30%?????ˉ??42%?????????75%??????50%???????83%??С??????????40%?????г???44%????г?????????????2.4????????????70%??DVD??2000??????70%???綽??9600??????50%??????????30??????60%?????????170??????40%????????????10????????60%??????й?????????Щ????????????????????????????????????????????1992???????????????????????????15%??????????????2002???2003????????325.1??????444.39?????? ?й???????????????????λ???????????????????1????????????????????????????????г?????????????????????????????????????????????????????????????????(?????????2???)??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????й????????????????????????????1/25???????1/26???й?????е?????????????????????????????????????????????1/10???????????????1/10?????????????500??У??й????????????????? ???й???????????????????, ???????????????????????????????й???????????????????й????????????????????????(???????????)?????????????????????羫???????????????????????????????????????????豸?????????????????, ?Щ????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????й????????????????????????????????????????????????????????????????У???????????????????? |
?й??????????????? |
| 1.??е??????????????????μ??????廯?????????????????￡???????????????????????????????o???????????????????????????????????羫???????????????????????????????????????????????豸?????????????????, ?Щ??????????????????????????????????? 2.??????????????????????????????????????????(???????????)???????????????????????????????????????????????????? 3.?????????????????????????????2002??????????????????383?????????????????????????????????????1.5%?????????????????9%???豸???幹????????? 4.???????????????????????????????????Ч???????Ч????????????????2???????????????????????? 5.???????????????????????????????????1996?????????????????36.9????????????????, ????20????, ???????????????5.8??????1?7????????4??????????????????????????????????????????????????????????????μ??????????????????е??????????????????????1/25???????1/26?? 6.?о????ü?????????????????????? |
?????????????????????????????????????????????????й?????????????????????????????????????? 1.????????????????????????????廯???2???? 2.????????????????????????????????????????????????????????У???????????????????????????????????????Ч??? 3.??????????????? 4.?????????????????￡????????????? ????????е???????????????, ????????????????????????????????????????????????????????????????????е?????????????????????е??????????????п???????????????????????????????????????????????????????????????????????? |
???? ???????????????? |
| ?????????????????????????????????????????????????????????Ч???????????????????????????????????????????е??????????????????????????????????????? ??????????????????????????????о?????????????90???????????????????????????п??????????????????Ч?????????????????????????????????漰?????????????????????????????????????????????????? |
2.1???????????????? |
| ????????????????????????????????????壬??????????????????в???????????????Χ?????????????????????????????Χ???1???????????????,??????????????500-800m/min???????????????,??????????????3000-5500m/min?? |
 |
?1 ?????????????? |
2.2???????????????? |
1.??????????????????г?Ч????????????????????????????????? 2.???????????????????????????????????????30%?????????????????????????????????????????????????????? 3.??????????????С??????????????????????????????????????????????????????????????????? 4.????????????????????????м???????????90%??????????????????С????????????????????κ??С??????????????? 5.??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 6.????????????????????????????????????????????????????Ч???????????????????????????????? |
| ????????????????????????????2??????????????????????????????????Y?]??????????????????????????????????????????????????????е?????????????????????????????Ч???Ч?????????? |
 |
?2 ????????????????? |
2.3?????????????????? |
| ???????????????????????????????????????????????????????к??????,??????????????????????????????????????????????????????????????к?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????,????????????????,??????????????????Ч?????????? ?????????????????????????????????????????????????к???????????????????????????????????15000??30000r/min?????????μ?30000??45000r/min??????????????????????????????????????У???????????????????????????3 ??????????????????Y???? |
 |
| ?????????????????????????????????L???????????????????????????????????????????????????????????????????????80-120m/min???4?????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????DIXI????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????5????DIXI?????DHP40???????????????????????????????????24000r/min. ???????????????????к?????????????????????????? |
| 2.4????????????????? |
| ??????????????м???????: 1.????????????? ??????????????????????????????????????????????????????CBN???????????????????????н?????????????? 2.?????Y?] ???????????????????????1??????????7:24????????????????6??????????????y???????????????????????????????????λ?????????????????ú??????????????7???????????????????HSK40??????С? 3.??????????????Y????????????????????????????????????????????? 4.?????????????????????????????????????????????? |
 |
| 2.5???????????????????? |
| ?????????????????????и????????????????????????????????????????????????????????????????к?????????????????к????????????????????, ????????????, ????????????????????????4~6m/sec2???????????????????????????????????????????????????????????????? |
| 2.6?????????????????????? |
| ?????????????????????????м?????????????????а????????á???????????????????????????????????????? |
????????????????????? |
| 3.1????????????? |
| ?????????????????????????????????????????к??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С??????????????????????????????????????????????????Ч??????????????????????????????????????????????????????????к????????????????????????????????80~90%??e??????????? |
| 3.2????????????? |
| ??????????????????????????????к???????????????????????????????????????????????????????д?????????????????????Ч??? PCBN??CBN???????????????????????????????????????????????????????????CBN??????????????????t??????????????????????????????????????????????Ч??????????????????????????????????????????????????Щ?????????????????ò??????? |
| 3.3????????????? |
| ???????????????ú????????????(CVD)???????λ?????????????????????????CVD???????????????????????????????????????????????????????(PVD)???????к???????????????????????????????????????????????????????????TiAlN???????????????????TiAlCN???????DLC??W/C??????????????????????????????????????????????????? |
?????????????????? |
| 4.1???????????????? |
| ??????????е???????????????????????????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????5?????????????2000??, ????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 2001???????????????19.21????????????????1.75?????????10?????????????????24?????(???????????1.77???, ???14?????), ???????2.9??????? 2002?????????????23.19????????о????????????2.87?????2002??1 - 6????????????55845?, ?????13.3???????????????????23.9%???????????????????????????????????2.4?????/???2002??1 - 6????????????250.72????????1.46?????, ??2001?????????5.7%?????????????????????????????????????????????????????????????????58.2???/???????????????????????????????й????????????????????????? 2003???????????????????30.7????????????????3.6?????????29.1???????2003???????????????????40????????????????????????????????????????????????????2003????????????67????????????????????27%, ?????????????????????????????????г????????????44%????????????????????г????????????30%????????????????????????????????????????????100%????????? ??????????????????????????????30???????????????????(???????????????????????94%)??2002?????????322???????2003?????????363??????????????г???????????????й?????WTO????????????????μ????????????????????1996???36%???????2003??9.6%??????????????????????????????????????????????????????????????г???????????????????檔??Щ?????????????????????????, ??????????????????, ??????????????????????????????????????????????????????????? ?ο????????????????????????????????????????????????????????????????????: ?????????????????????????????????????, ????????????????????????????????????????????????????, ??????????????????MEMS???????????豸?? |
| 4.2?????????????? |
| ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ù???????????????????????????? ????????????????????????????Σ???????ù??????????????????????????,??????????????ü??????????????????????? ???, ?????????????????????, ????????????????????????????????????????????????, ??????????????????? ????????, ????????????????????????????????????????????????????????????, ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????2001???п????????????????????????????????????????????????????????????????????????????, ????ù??????????????????????????????????????????????????????????μ????????????????????9000????????й??????????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????, ???3.3???????????200????????????????????1000???????????????? |
| 4.3???????????????????? |
| ????????????????????????????????, ???????Ч?棬???????????????????????????????????ú????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????, ?о??????????????????? |
| 4.4????????????????????? |
| ?????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??ó???????????????????????, ?????????????????????????????????????涼????????????????????п????о?????????????潲??????????????????????????? |
| 4.5????????????????? |
| ???????????????????????, ???????????????????????????Mazak?????INTEGREX e-650H?????????????, ??????г???????????????????; ????????B????????й?????????????????????????1?STAMA??MC??л?????5?????????????????????????????????????5????????????????????????????????????????????????????, ??????????????????? |
?塢???????????????????? |
| ???????????????????????????????????????????????????????????涼????????????????????п????о?, ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸?? |
| 5.1????????????? |
| ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??ó?????????? ????????????????????2.1m?????DTM-3???????????????1.65m??LODTM??????????????????????????????????????????????????6???????????????????????????????侵?????????????????????????????????8.4m??????????侵????????????侵, ???????????????????????????????????????, ????????????????????, ???????????????????о??????????????????????????侵?? ??????OAGM2500 (2500mm??2500mm)?????????????????????,????????????????????棬?????????????ü???????????????????????????е????7.5m???????侵?? ??????????, ????????????????????????????????????????????1998????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????о?????????????е?о????????????????????λ??????????????????????????????????????8a?????????????о????????????800mm?????????????8b?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????к??????????????????????????????????????????????????1m?????????????????????KDP???????????????????? |
 |
?8 ???????????????????? |
| 5.2???????澫???????????????? |
| ???????????????????????ELID???????????,????????????????????ELID??????????(???9); ????????????????????????ELID??????????, ???????????????棬?????檔 ??????????????????????????????ж????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ??????????????????????????????????, ???????????????????????????棬???????????????????????????ο????湤?????ζ?????仯?????????????????????????????????????????????湤??????????????????????????????????????????壬?????????????????????????????????????????????????????????????????????????? |
 |
| ????????Zeeko?????????????????????????????1?????????10a???????Zeeko??????????淽?????????????????????????????????????????????????10b???????????, ????????????γ????????????????????????????????????, (??????????????????????????)???????????????涼?????????????????, ????????????????(?????????????????????????)?????????????????????????????е?????????????????????????????????????????????????ε????檔???μ??????????????????????????????檔 |
| 5.3???????????·?????????? |
| ???30?????·??÷??????????????????????о??????????????(Intel)??????о????????????·?????? ?????????1971????????????о??????????????????Ρ?о????????????,??????δε?????????, ????????????1971???????????4004о???????????108 kHz??????????2300??????С????10 ??m ??1999?????????Pentium III о???????IIIо?????????????????1 GHz????????217 mm2??о???, ?о????2800???????С????0.18 ??m?????2001??3??????????????Pentium 4?????????????1.7 GHz????С???0.13 ??m,??????116 mm2??о???,???????????4200????????????????????10 GHz??30?????????о??????????????13000????????1971???10 ??m??С??0.13 ??m??????μ?о???????????2.8 GHz?? ???????????·?????????????????????(?????0.24 ??m)?????????С????0.13 ??m???????????????????????????0.1 ??m?????????С???????????????й???????????????????????????????о????????Со??????????????????????????????????????????????????????ó?????????????????п????????????70 nm????????????????????????, ???????????????н??У??????????????????????????????????????????????·??10??- 12?徧???????????????????????????????????????????·?????????????????????????????????·???????????????????? ???????????????÷??????????????????????????·?????????????8??辧?????????????·????????????С????0.18??m??????????????о????10?填12?徧??????0.13??0.1??m??????????·?????????????????????????? |
??????е????????????????? |
| ?????????????е???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е???????????????????????????????????????????????ü????????????????????CAD/CAM??廯??????20????80??????????????????????????????????????????????????CIMS????????????е?????????????? ????????CIMS???????????????????????????е???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е???????????????????????????????? ???????????????????????????????????????????????????м????????????楨?????????楨??????楨??????????(????????)???????????(???????)?????е??????е??????????????????м????????????????????й???????е????????????????????е????????????л?????е???????????????????????? 20????90????????????????????????????????(??????????)????????????????????????????????????λ??????????????????佻???????е????????????????????????????λ???о???????????????????????Э?????????????λ?????????????????????????????2?????????λЭ?????????????????????????????????????????????д????2??????????????????????????(??????????)????䶮??????????λ??Э??????(?????λ?????????????λ)?????????????λ?е?????????????????????(CIMS)??FMS??CAD/CAM???????????????????????????????????й??????????????????????????????????????????????????????????2???? ????????777????????????????????????????????????????????????????????777????????????????????????????????51???11????????????????о???Э????????μ???????????????????????7000????????????????У????????????, ??????????????????????????????????????й????CAD/CAM??廯???????????????????????,????,????????????????.????777???????????????????????????????????????27??????????????????????????767?????????????????????40????????????????????????????????????????????????? ???Э?????????п??????????????????????????????????????????????????????????п???????????????????????????1????????????????????????????????????????????????о?????????λ??????μ????????????????????????????????????????? |
??????????????????????????????????????? |
| ??????????????????????????????ò??????????????????, ??????????????????????????????????????????? |
| 7.1??AFM??????????е???? |
| ???????????????????????Si3N4?????????????????????п??????????????????????С??????????????????????????裬????????????ν?????SPM????????????С???????????ν????11??????????????????????AFM??????????????????Y??, ????????????????????????????????????????????????? |
 |
| 7.2??SPM???е?????????? |
| ??AFM???????????????????????????????????????????????????????????????????????ó???????????????ü??????????Ρ??12????Stanford???Quate????SPM??Si??????й????, ??????????????32 nm?????????320 nm???????10??1??????IBM?????McCord????AFM??Si??????й????, ??????????10 nm??????? |
| 7.3?t??????????????????? |
| ???SPM?????????????????о??????????????????, ???13???????????У?????????????????????????緋????, ???????????????????????????????????????????????????????????????????????緋?????е?????????????????????????HO-????? ?14a??Stanford???Dai????SPM????????Si???棬??????????????????SiO2????????nanotube?????nanopencil??????, ?????д???????С??????????AFM??????????????????????? -7 ~ -15 V??SiO2??????10 nm???14b???, ???п????????????????STM??P??Si(111)???????????????????SiO2??ε??п??????ε?????? |
 |
| 7.4???????????? |
| ??????????????????￡?SPM???????????????????????????棬?γ??????????????????????????????????γ???????????С?? ?15?????, ???????STM??Pt????????Si(111)?D7??7????????????Pt??????????????Pt???????????????0.4 nm????????????? ?D3.0 V, 10 ms???????壬????????????????????????????????Pt?????????????????γ??????????????????????STM??????????????????????????γ??????????????????????????Pt????, ??????е?Pt????????????????????????, ?????1.5 nm;?????????????????????????2 nm?? Mamin ????Au????STM, ?????? -3.5~ -4V???????壬??????????????????10 ~20 nm????1~2 nm??Au?????????ЩAu?????????????1??m???????????????16????????????????????С?????????? |
 |
| 7.5????????????????????????? |
| ???SPM????????????????????????: ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ???NEC?????600??????????￡????????STM???????Si(111????????????????????????Si???????????STM??????￡?????????γ????????????????ν??????????17???????????????????80 nm???????8 nm?????????STM???????????????????????????γ???????? ????????????????STM??????????????????????￡???Si???????????????????????????????????????????γ?????ν??????ε??????????????18?????????????????????????10 nm, ???1.5 nm?? |
| 7.6???????????Y????? |
| ???SPM?????????????????????????????????????????????Y????Σ???????????????? 1993??Eigler?????Cu(111)???????????????101??????????????д???????????????????(???19)??????????????д????????????С?????? 1994???п??????????????????????????, ???STM?????Si(111)?D7??7????????????Si?????γ????, д???й? (?20a)????? (?20b)???????ν??? |
 |
??????е??????????????????? |
| ???????е????????????????????????????е????????????????????? |
| 8.1??????????????????? |
| ???е????????????????????????裬???????(100)??(110)??(111)??????и?????????????????á?KOH+H2O?????????????(100) ??(110)??(111)?????????????????400 : 100 : 1???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ?辧????и????????????????????(100)??(110) ???棬???????澭??????????????????????????????????????????????????????￡???????涼??(111)???檔???????(100)??(110)???????????(111)???????λ?ò??????????????????????????????????????????????21a?????(100)??????????????????Σ?21b??????(110)??????????????????Ρ????????????????????????????????????????????????????????????????巽??, ????????????????????????????? ?辧?????????????????????Y?????????????????Y????С?????辧?????????P+?????????????????????????γ???????????22???????????g??????????Y???????????????????? |
 |
| 8.2 ???????????е??? |
| ?????ж???С???????????(???????50000 r/min????), ????С??????????????????С?????????????????С???????????棬?23??????????Fanuc???????????????????ROBOnano Ui??????????????????????????????????????????????????????????????? |
 |
?23 ??ROBOnano Ui?????????????????????? |
| 8.3????????????? |
| ??????, ???и?, ?????????????????????????????????????????????????е?????, ???и?, ??????????????????24?????ò?????????????????????????????????????????????????????????????????ó??????????????????????????5??m?????????????????????????????????У???????????????25a????????ü???????????????и????β???25b?????????????????????????????С??? |
 |
?24 ??????????????????? |
 |
?25 ??????????????? |
| 8.4 LIGA???? |
| ????????????????X????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????μ????????1000??m?????0.5??m????,???????200??????????????????β??????????????26?????LIGA???????????????????27??????????LIGA?????????????????????????????LIGA????????????????????μ???????????????????з?????28??????????????????????????????????????????? |
 |
| 8.5 ??????????????μ?? |
| ???????????????????????????????????????29a???????????????????????С???????????????20??50 ??m???29b???????Gunm?????????????????????????????????????????????????????? |
| 8.6????е????? |
| ?????????С????????????????????????е????????????????г???????е?????????????á??30a???, ???????紫??????????г??????30b???, ?????????????????г???????????????????????е???????????????????? ?????????????????????е?????????? ?31????????????У????????????????г??????????????崲???????????????????????????????????????625 mm??490 mm??380 mm?????? ?34kg?? |
 |
?31 ?????????е????(?????34kg ??? 625mm??490mm??380mm) |
Copyright(C) 2004 ???????, All Rights Reserved
E-mail:toolmagazine@chinatool.net
?綽??(028)83242219 83242240